箱式爐在擴(kuò)散爐口徑變大以后，恒溫區(qū)的橫截面溫度差臥式爐比立式大得多，真空箱式爐更能滿足工藝要求；真空箱式爐為達(dá)到特殊工藝要求甚至更低，使之滿足薄膜工藝要求；真空箱式爐有利于滿足自動(dòng)化水平，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝卸片；真空箱式爐能在工藝過(guò)程中硅片在高溫狀態(tài)易變形,水平放置硅片變形小。

真空箱式爐可通氣氛抽真空，材質(zhì)是石英管，配有石英管和真空密封法蘭系統(tǒng)，可以在流動(dòng)氣氛和真空狀態(tài)下快速加熱和淬火樣品。精密的控溫儀升降溫，控溫精度。安裝在可移動(dòng)支架上方便移動(dòng)。

真空箱式爐具有獨(dú)特的爐膛結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有多個(gè)獨(dú)立可控的溫區(qū)，能一次性完成產(chǎn)品排膠、燒結(jié)保溫、可控降溫的全過(guò)程。溫控采用數(shù)顯移相電壓調(diào)節(jié)；傳動(dòng)系統(tǒng)無(wú)離合機(jī)構(gòu)，采用控制步進(jìn)電機(jī)，運(yùn)行速度平穩(wěn)無(wú)噪聲，下降速度無(wú)級(jí)可調(diào)。爐膛保溫材料采用節(jié)能型纖維，升﹑降溫度快,爐溫均勻，燒結(jié)產(chǎn)品一致性好。